JUSTEMHUMIDITY CONTROL
3F JUSTEM CLEANROOM Ver.3
CONCEPT MODEL
JUSTEM SOLUTIONS · 3F JUSTEM CLEANROOM

기존 LPM · 비교 보기

탭을 선택하면 설치 위치를 가까이 보여드려요.

N₂ PurgeJFS 기류제어JDM 제습
드래그 회전휠 확대우클릭 이동
나 + 동료 4명W A S D / 방향키 · 바닥 클릭 이동 · 드래그로 둘러보기바닥 터치로 이동 · 드래그로 둘러보기
이동
사진·제품 자료 기반의 가상 배치 · 실제 도면과 다를 수 있습니다.
J
습도제어 솔루션을 준비하고 있어요저스템 3F JUSTEM CLEANROOM으로 들어가는 중
MODEL REFERENCES · Ver.3

모델에 반영한 자료

JFS·JDM·JDS는 이번 수정 지시의 기술 기준을 우선합니다. JDM 위치와 BIP Storage 구성은 새로 제공된 실물 목업을 따릅니다. JPB는 EFEM 측면에 밀착된 좁고 세로로 긴 소형 금속 모듈로 표현합니다.

실물 목업: 다단형 BIP FOUP Storage와 EFEM 최상부 JDM

최종 수정 기준: JFS의 FOUP 습도 5% 미만. JDM의 FOUP 습도 1%, EFEM 습도 10% 미만. JDS = JDM + JFS + N₂ Purge: FOUP 습도 1% 미만, EFEM 습도 5~10%.

기존 LPM·N₂ Purge·JFS의 검토된 기류 방향은 유지합니다. JDM은 EFEM 최상부의 금속 모듈로 EFEM 저습 환경을 형성하며 JFS는 FOUP 방향 고습 기류 유입을 제어합니다.

JPB는 목업에서 확인되는 외형과 설치 위치를 보여줍니다. BIP는 중앙 다단 구조와 개별 지지판에 엇갈려 배치된 16개의 FOUP을 통해 적용 관계를 보여줍니다. 미확인 배관·노즐 수·기구 구조를 추정하지 않습니다.

장비 형상과 기류는 제공 자료에 기반한 개념 표현이며 실제 제작 도면이나 성능 시뮬레이션이 아닙니다. 제품 소개 영상은 클린룸 벽면 TV에서 감상할 수 있습니다.

JUSTEM 제품 소개 영상